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等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的
5L等離子清洗機(jī) 電容耦合特點(diǎn)：
腔體可利用面積大，起輝均勻，可清洗6英寸硅片。
5L等離子清洗機(jī)電容耦合技術(shù)參數(shù)：
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主要部件 |
指標(biāo)名稱 |
參數(shù)指標(biāo) |
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清洗倉體 |
清洗倉材質(zhì) |
SS304 |
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清洗倉尺寸 |
200x160x240mm |
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耦合方式 |
電容耦合 |
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射頻電源 |
電源特性 |
該電源為全固態(tài)射頻電源，采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件，使產(chǎn)品的可靠性得以保證。 |
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電源優(yōu)勢(shì) |
●可長(zhǎng)時(shí)間正常運(yùn)行
● 電源效率高、發(fā)熱少 |
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射頻功率 |
0~300W連續(xù)可調(diào) |
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信號(hào)頻率 |
13.56MHz ±0.005% |
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反射功率 |
≤100W |
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功率穩(wěn)定度 |
±0.1% |
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射頻接頭 |
N型頭 |
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整機(jī)效率 |
≥75% |
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諧波分量 |
≤-50 dBc |
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冷卻方式 |
強(qiáng)制風(fēng)冷 |
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氣體測(cè)量 |
測(cè)量部件 |
兩路質(zhì)量流量計(jì) Ar 0~200sccm； O2 0~200sccm 可定制 其他參數(shù)參考之前的產(chǎn)品 |
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氣體通道 |
兩通道 |
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A通道量程 |
10～100ml |
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B通道量程 |
16～160ml |
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真空獲取 |
真空測(cè)量 |
數(shù)字真空計(jì)（電阻規(guī)） |
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真空抽取 |
雙極旋片泵 |
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電機(jī)轉(zhuǎn)速 |
50Hz時(shí)為：1440；60Hz時(shí)為：1720。 |
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抽氣速率 |
50Hz時(shí)為：240L/Min；60Hz時(shí)為：288L/Min。 |
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真空量程 |
0.1Pa～10000Pa |
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極限真空 |
0.5Pa |
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電機(jī)噪音 |
≤56dB |
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管道接口 |
進(jìn)氣口：KF16;排氣口KF16. |
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連接管道 |
KF16真空波紋管 |
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真空閥門 |
KF16球閥 |
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電機(jī)功率 |
400W |
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其它 |
供電電源 |
AC220V 50/60Hz |
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整機(jī)功率 |
800W |
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使用溫度 |
-10℃ -- 40℃ |
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工作真空 |
≤40Pa |
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整機(jī)尺寸 |
600mmX650mmX560mm |
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整機(jī)重量 |
80kg（含包裝） |
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