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產(chǎn)品名稱：三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎(chǔ)型）
產(chǎn)品型號(hào)：CY-PLZ180-III-DC-Q
產(chǎn)品廠商：成越科儀
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹：

本型號(hào)小型等離子濺射儀，采用二級(jí)濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過(guò)程中無(wú)高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。本型號(hào)儀器還配有旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，能夠有效的提升鍍膜的均勻性。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。設(shè)備體積小巧造型美觀，是實(shí)驗(yàn)室鍍膜試驗(yàn)的*佳選擇。

詳情介紹：

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱

三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎(chǔ)型）

產(chǎn)品型號(hào)

CY-PLZ180-III-DC-Q

樣品臺(tái)

尺寸

100mm

到靶面距離

20~35mm高度可調(diào)

等離子濺射靶

數(shù)量

2英寸 x3

冷卻方式

自然冷卻

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 200mm

觀察窗口

全向可視

腔體材料

高純石英

開(kāi)啟方式

頂蓋拆卸式

上下蓋材質(zhì)

304不銹鋼

抽氣接口

KF25

進(jìn)氣接口

1/4英寸卡套接頭

電源配置

數(shù)量

直流電源x1

輸出功率

*大150W

濺射電源

3000V

*大濺射電流

50mA

真空系統(tǒng)

真空泵類型

雙極旋片真空泵

抽氣接口

KF25

排氣接口

KF16

抽氣速率

1.1L/s（4m³/h）

極限真空度

≥1Pa

真空測(cè)量

電阻真空規(guī)

其　　他

供電電源

AC 220V 50Hz

整機(jī)功率

1.5kW

整機(jī)尺寸

570mm X 450mm X550mm

整機(jī)重量

30kg

相關(guān)產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎(chǔ)型）
產(chǎn)品型號(hào)	CY-PLZ180-III-DC-Q
樣品臺(tái)	尺寸	100mm
樣品臺(tái)	到靶面距離	20~35mm高度可調(diào)
等離子濺射靶	數(shù)量	2英寸 x3
等離子濺射靶	冷卻方式	自然冷卻
真空腔體	腔體尺寸	φ180mm X 200mm
	觀察窗口	全向可視
	腔體材料	高純石英
	開(kāi)啟方式	頂蓋拆卸式
	上下蓋材質(zhì)	304不銹鋼
	抽氣接口	KF25
	進(jìn)氣接口	1/4英寸卡套接頭
電源配置	數(shù)量	直流電源x1
	輸出功率	*大150W
	濺射電源	3000V
	*大濺射電流	50mA
真空系統(tǒng)	真空泵類型	雙極旋片真空泵
	抽氣接口	KF25
	排氣接口	KF16
	抽氣速率	1.1L/s（4m³/h）
	極限真空度	≥1Pa
	真空測(cè)量	電阻真空規(guī)
其　　他	供電電源	AC 220V 50Hz
	整機(jī)功率	1.5kW
	整機(jī)尺寸	570mm X 450mm X550mm
	整機(jī)重量	30kg

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產(chǎn)品名稱：三靶等離子濺射鍍膜儀（基礎(chǔ)型）